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文档序号:5053822

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在具有测辐射热计元件(11)以及基准元件(21)的红外线检测器(1)中,包含:测辐射热计薄膜(22),与基板(10)的表面分离且被支撑于基板(10)的表面上;散热用金属膜(23),经由绝缘膜(31)而被形成在测辐射热计薄膜(22)的基板(1...
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