下载带隔离处理装置的扩散炉的技术资料

文档序号:5031544

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种带隔离处理装置的扩散炉,这种技术和装置主要应用于扩散炉中;它包括有加热炉和操作室,加热炉带有炉腔,其炉口朝向操作室方向,在加热炉内还设有可沿炉腔方向内外滑动的石英舟;所述操作室内靠近炉口处设有一中部带圆形开口的隔板,开口...
该专利属于深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。