温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

在本发明的一个实施例中，提供一种用于真空环境中的气体压力计，其具有测量气流通道。所述气体压力计包括：在测量气流通道中的测量喷嘴。所述测量喷嘴配置成在来源于连接到所述测量气流通道的气体源的体积流动的音速阻扼流动条件下操作。气体压力计还包括压力...
该专利属于ＡＳＭＬ控股股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ＡＳＭＬ控股股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。