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一种ＭＩＭ电容建模及电容值获取方法。所述ＭＩＭ电容建模方法包括：在同一测试环境下，测量多个具有相同有效电容面积的ＭＩＭ电容值，所述多个ＭＩＭ电容所在器件的金属互连层个数不同；获得ＭＩＭ电容值与金属互连层个数变化的函数关系；将所获得的ＭＩＭ电...
该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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