温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

公开一种喷头电极总成，其包括适于安装在真空室内部的喷头电极；可选的衬板，贴附于该喷头电极；热控板，在纵贯该衬板的多个接触区域贴附于该衬板或贴附于该喷头电极；以及至少一个接口构件，其在该接触区域隔开该衬板与该热控板或该热控板与喷头电极，该接口...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。