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平板式布气装置制造方法及图纸
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下载平板式布气装置的技术资料
文档序号:4984534
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本实用新型涉及一种平板式布气装置,用于连续式PECVD系统。它包括一种平板式布气装置,包括一个布气罐、一个进气管和一个布气板,所述布气罐中心螺孔与所述进气管的外螺纹中心旋配,实现进气管的出口与布气板的距离可调;所述布气板与布气罐之间是四个螺...
该专利属于上海大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海大学授权不得商用。
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