平板式布气装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种平板式布气装置，用于连续式ＰＥＣＶＤ系统。它包括一种平板式布气装置，包括一个布气罐、一个进气管和一个布气板，所述布气罐中心螺孔与所述进气管的外螺纹中心旋配，实现进气管的出口与布气板的距离可调；所述布气板与布气罐之间是四个螺栓连接；所述布气板上均布小孔，该均布的小孔按所在径向位置改变直径，使得气流流量有所补偿，实现气流的均匀性分布。本实用新型专利技术的平板式布气机构提高了光伏电池薄膜的成膜速率和大面积均匀性，并可获得较好的太阳能的转化率。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种布气装置，特别是一种平板式布气装置。
技术介绍
连续式PECVD (增强型等离子化学气象沉积)设备大多采用平板式布气结构，此种结构的优点在于可以沉积大面积的薄膜，并保证薄膜的均匀性。有利用薄膜的规模生产。然而传统平板式布气结构的布气板采用均匀布置方式和均匀口的设计，并且进气方式采用直管进气，对气流的成膜均匀性和成膜速率都有不良的影响。其技术主要包含进气结构，布气结构。 1.进气结构进气方式其实就是指如何将反应气体通入到反应装置当中，现在所有的设备均采用管道进气的方式，只是管道的直径的大小有所不同，而对于连续式PECVD来说，气流管道直径的大小对通入气流的均匀性影响很大。进气管道小，则气流的冲击力要大一些，同时小管道直径可以使得气流有一定的喇叭角扩散出去，但是小管道也限制的气体的流量和薄膜的成膜速率。 2.布气结构布气结构其实就是用装置促使进来后的气流更均匀的分布在反应室当中。现在的PECVD设备的布气方式主要是管式布气和平板式布气两种，平板式布气主要用于大面积连续式薄膜沉积装置当中。平板式布气方式的主要缺点就是无法大面积保证气流的均匀性上。还有就是平板式布气不能采用中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平板式布气装置，包括一个布气罐（１）、一个进气管（２）和一个布气板（３），其特征在于所述布气罐（１）中心螺孔与所述进气管（２）的外螺纹中心旋配；所述布气板（３）与布气罐（１）之间是四个螺栓（４）连接；所述布气板（３）上均布小孔，该均布的小孔按所在径向位置改变直径。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王成刚，李桂琴，陆利新，王燕，
申请(专利权)人：上海大学，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]