温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种用于半导体衬底处理中使用的等离子处理室的电极总成。该总成包括上部喷头电极，其通过一系列隔开的凸轮锁以机械方式连接于衬板。保护环围绕该衬板，并且可移动到使得该保护环中开口对齐该衬板中开口的位置，从而该凸轮锁可利用工具转动以释放从该电极的上...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。