下载复杂柱面伪剪切干涉检测中的失调像差重构方法及装置的技术资料

文档序号:46629779

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本发明公开了一种复杂柱面伪剪切干涉检测中的失调像差重构方法及装置,本发明先获取在干涉条纹调零时,干涉仪所测量出的待测柱面镜的第一波前数据,待测柱面镜沿曲率方向移动一次后干涉仪检测出的第二波前数据,以及待测柱面镜沿曲率方向再次移动一次后干涉仪...
该专利属于中国工程物理研究院机械制造工艺研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院机械制造工艺研究所授权不得商用。

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