【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学精密测量，具体涉及一种复杂柱面伪剪切干涉检测中的失调像差重构方法及装置。
技术介绍
1、柱面镜具有一个方向的曲率半径为无穷大，另一个方向的曲率半径为有限值的几何光学特性，其常用于线聚焦或者矫正像差；其中，柱面镜作为广泛应用于高精密仪器的光学元件，对其面形质量具有高精度的要求，因此，对柱面镜的加工和检测技术也提出了较高的要求。
2、在现代光学精密加工中，采取更多的是以面形误差作为依据的修形加工，因此，检测精度至关重要，干涉法凭借高精度的优势成为检测复杂柱面光学元件的主要手段，目前，对于复杂柱面的干涉检测方法主要有零位干涉法和非零位干涉法，其中，对于零位干涉法，需要一块与待测柱面镜面形匹配的高精度补偿镜，该方法精度高但缺乏通用性，而非零位干涉检测法对补偿镜要求较低，主要通过算法来弥补由补偿镜精度不足带来的影响，其通用性高，但是会额外引入一些误差。
3、目前，现有技术cn117889780a提出了一种离轴非球柱面镜非零位干涉测量装置及方法，其实现了离轴非球柱面的高精度测量，但是，其在沿曲率方向移动柱面...
【技术保护点】
1.一种复杂柱面伪剪切干涉检测中的失调像差重构方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，待测柱面镜仅在沿曲率方向移动时，产生所述失调像差，且待测柱面镜每次沿曲率方向移动时的移动距离相同；
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，基于第一波前数据、第二波前数据和第三波前数据，并利用伪剪切法，构建出待测柱面镜消除失调像差的二阶差分波前数据，包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述二阶差分波前数据是根据待测柱面镜的一阶差分波前数据所构建得到的，其中，所述一阶差分波前数据包括第一差分波前数据和第二差...
【技术特征摘要】
1.一种复杂柱面伪剪切干涉检测中的失调像差重构方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，待测柱面镜仅在沿曲率方向移动时，产生所述失调像差，且待测柱面镜每次沿曲率方向移动时的移动距离相同；
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，基于第一波前数据、第二波前数据和第三波前数据，并利用伪剪切法，构建出待测柱面镜消除失调像差的二阶差分波前数据，包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述二阶差分波前数据是根据待测柱面镜的一阶差分波前数据所构建得到的，其中，所述一阶差分波前数据包括第一差分波前数据和第二差分波前数据，且第一差分波前数据为第二波前数据与第一波前数据的差值，第二差分波前数据为第三波前数据与第二波前数据的差值；
5.根据权利要求4所述的方法，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：臧仲明，任昱璇，陈杨，海阔，赵乐，李柱，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，
类型：发明
国别省市：
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