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功率器件及其制备方法、电子设备技术
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文档序号:46628259
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本申请涉及一种功率器件及其制备方法、电子设备,器件包括:衬底,衬底的第一表面上包括外延层;外延层内包括经由顶面沿朝向衬底的第一方向排列的源区、基区、屏蔽区;多个栅极,沿平行于第一表面的第二方向间隔分布,并沿第一方向贯穿源区、基区,并部分嵌入...
该专利属于广东芯粤能半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东芯粤能半导体有限公司授权不得商用。
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