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披露了一种用于宽带光源装置的光学部件，该光学部件被配置为用于在接收泵浦辐射时产生宽带输出，并且该光学部件包括空芯光子晶体光纤（HC‑PCF）；和填充该HC‑PCF的气体混合物，其中，所述气体混合物包括至少一种第一气体和至少一种第二气体的混合...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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