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提出了一种用至少一种涂层涂覆基板的方法，所述涂层包含至少一种涂层材料，所述涂层材料沉积在基板上或施加在基板上的部分涂层上，其中电中性颗粒可用于辅助沉积。...
该专利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司SMT有限责任公司授权不得商用。

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