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本发明涉及一种晶圆承载台升降系统与升高晶圆承载台的方法，特别是在半导体微影工艺中实现晶圆与光罩精确对齐的系统和方法。该系统包括一晶圆承载台、一光罩承载台、多个线性致动器与测距仪、及一控制器。晶圆承载台用于承载晶圆，光罩承载台用于承载光罩。另...
该专利属于利易达半导体设备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过利易达半导体设备股份有限公司授权不得商用。

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