下载包括鳍形有源区的集成电路器件的技术资料

文档序号:46624760

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一种集成电路器件包括鳍形有源区。成对的下沟道区设置在有源区上。成对的上沟道区设置在下沟道区的上部上。下源极/漏极区形成在有源区上,并且接触成对的下沟道区。上源极/漏极区形成在下源极/漏极区上,并且接触成对的上沟道区。上源极/漏极区包括接触成...
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