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本发明涉及一种压电谐振器，属于微机电技术领域，包括：谐振体，谐振体上周期性排列有微孔结构；衬底，谐振体固定在衬底上，衬底与谐振体之间设有空腔或声学反射层；其中，微孔结构及微孔结构周围的部分谐振体构成面内耦合单元，用于激发谐振器的耦合模态。与...
该专利属于上海大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海大学授权不得商用。

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