一种压电谐振器制造技术

本发明专利技术涉及一种压电谐振器，属于微机电技术领域，包括：谐振体，谐振体上周期性排列有微孔结构；衬底，谐振体固定在衬底上，衬底与谐振体之间设有空腔或声学反射层；其中，微孔结构及微孔结构周围的部分谐振体构成面内耦合单元，用于激发谐振器的耦合模态。与现有技术相比，本发明专利技术在谐振体x‑y平面内排布的面内耦合单元，能够同时激发x轴方向和y轴方向的横向模态，并形成面内二维横向耦合模态，该横向耦合模态是实现本发明专利技术谐振器可光刻调谐特性的基础，通过光刻工艺定义面内耦合单元适当的尺寸和面内排布，能够在较宽的频段范围内调节谐振器的谐振频率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微机电，具体涉及一种压电谐振器。

技术介绍

1、射频滤波器在无线通信系统中起着至关重要的作用，负责高效传输信号并抑制带外干扰与噪声。随着5g及更高频通信技术的发展，对于射频滤波器的性能需求整体上向更大的带宽以及更高的工作频段发展。

2、作为滤波器的核心结构单元，射频谐振器直接决定了其工作特性。其中，基于压电材料的薄膜体声波谐振器(fbar)因其较高的声速和良好的工艺兼容性，在高频段得到了广泛应用。然而，由于其工作频率取决于压电层厚度，精确控制压电材料薄膜的厚度需要付出极高的工艺成本，无法通过改变面内结构设计来调整器件的工作频率，并且在现有工艺条件下也很难实现不同厚度薄膜的单片晶圆集成。

3、针对这一技术难题，面内横向模态耦合是当前业内普遍采用的解决方案(cassella c,piazza g.aln two-dimensional-mode resonators for ultra-highfrequency applications[j].ieee electron device letters,2015,36(11本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种压电谐振器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种压电谐振器，其特征在于，所述微孔结构的轮廓为三边形、多边形或圆形。

3.根据权利要求1所述的一种压电谐振器，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的一种压电谐振器，其特征在于，所述压电层的材料为氮化铝、氮化铝掺杂物、氧化锌、氧化锌掺杂物、铌酸锂、钽酸锂中的一种或几种。

5.根据权利要求4所述的一种压电谐振器，其特征在于，所述掺杂物为掺杂物为稀土元素中的一种或几种。

6.根据权利要求3所述的一种压电谐振器，其特征在于，所述电极层的材料为铝、铂、钼、金、钨、铜、铱、钛...

【技术特征摘要】

1.一种压电谐振器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种压电谐振器，其特征在于，所述微孔结构的轮廓为三边形、多边形或圆形。

3.根据权利要求1所述的一种压电谐振器，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的一种压电谐振器，其特征在于，所述压电层的材料为氮化铝、氮化铝掺杂物、氧化锌、氧化锌掺杂物、铌酸锂、钽酸锂中的一种或几种。

5.根据权利要求4所述的一种压电谐振器，其特征在于，所述掺杂物为掺杂物为稀土元素中的一种或几种。

6.根据权利要求3所述的一种压电谐振器，其特征在于，所述电极层的材料为铝、铂、钼、金、钨、铜、铱、钛中的一种或几种。

7.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：王楠，马晨，许旭东，葛梓逸，王汐彤，林乐康，
申请(专利权)人：上海大学，
类型：发明
国别省市：