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一种面向C波段的掺铒AlN光波导放大器及其制备方法技术
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下载一种面向C波段的掺铒AlN光波导放大器及其制备方法的技术资料
文档序号:46621186
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本发明公开一种面向C波段的掺铒AlN光波导放大器及其制备方法,涉及光子器件技术领域。所述放大器包括:从下到上依次设置的衬底层、埋氧层、掺铒氮化铝波导层和二氧化硅包覆层;其中,所述掺铒氮化铝波导层为条形波导,且晶轴取向为高度c轴取向。本发明能...
该专利属于上海大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海大学授权不得商用。
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