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本发明公开一种面向C波段的掺铒AlN光波导放大器及其制备方法，涉及光子器件技术领域。所述放大器包括：从下到上依次设置的衬底层、埋氧层、掺铒氮化铝波导层和二氧化硅包覆层；其中，所述掺铒氮化铝波导层为条形波导，且晶轴取向为高度c轴取向。本发明能...
该专利属于上海大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海大学授权不得商用。

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