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本技术属于微电子封装技术领域,公开一种键合头及键合装置。键合头包括固定座、加热件、吸附组件和芯片工装,固定座设有容纳腔;加热件设置于容纳腔;吸附组件包括吸附件、压接件和第一紧固件,压接件的一端压接于吸附件,使吸附件压接于加热件,第一紧固件穿...该专利属于天津中科晶禾电子科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津中科晶禾电子科技有限责任公司授权不得商用。
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本技术属于微电子封装技术领域,公开一种键合头及键合装置。键合头包括固定座、加热件、吸附组件和芯片工装,固定座设有容纳腔;加热件设置于容纳腔;吸附组件包括吸附件、压接件和第一紧固件,压接件的一端压接于吸附件,使吸附件压接于加热件,第一紧固件穿...