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本技术公开了一种用于高真空镀膜设备的真空度自动调节系统，包括：真空腔、真空自动调节阀、高真空插板阀和高真空分子泵，所述高真空分子泵与高真空插板阀固定，所述高真空插板阀与真空自动调节阀通过真空法兰固定，所述真空自动调节阀与真空腔连接；流动微调...
该专利属于芯纳（扬州）微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯纳（扬州）微电子设备有限公司授权不得商用。

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