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本发明提供一种电极组件及半导体工艺设备，电极组件包括固定组件、过渡连接组件、电极杆及弹性件，电极杆第一端与固定组件固定连接，过渡连接组件位于固定组件与炉尾端板之间，过渡连接组件的一端与固定组件可拆卸连接、另一端用于与炉尾端板上的转接座连接。...
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