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一种用于快速调温的化学液输送单元及化学机械平坦化设备制造技术
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下载一种用于快速调温的化学液输送单元及化学机械平坦化设备的技术资料
文档序号:46614529
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本发明公开了一种用于快速调温的化学液输送单元,包括:输液管,内部形成输液通道;半导体电热模组,设于输液管外侧,与输液管外壁贴合;热量流动单元,流动有热量载体,与半导体电热模组相贴合,用于提供半导体电热模组所需热量,或者,用于接收自半导体电热...
该专利属于杭州众硅电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州众硅电子科技有限公司授权不得商用。
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