下载一种用于快速调温的化学液输送单元及化学机械平坦化设备的技术资料

文档序号:46614529

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种用于快速调温的化学液输送单元,包括:输液管,内部形成输液通道;半导体电热模组,设于输液管外侧,与输液管外壁贴合;热量流动单元,流动有热量载体,与半导体电热模组相贴合,用于提供半导体电热模组所需热量,或者,用于接收自半导体电热...
该专利属于杭州众硅电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州众硅电子科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。