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本发明涉及光学系统设计技术领域，尤其涉及一种改进型13.5nm极紫外光源能量监测装置。沿光路方向依次包括孔径光阑、薄膜滤光片、平面多层膜反射镜、球面多层膜反射镜和探测器；EUV光源发出的宽谱段辐射首先通过孔径光阑后，入射到薄膜滤光片，透过薄...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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