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本申请实施例公开了一种自热评估方法及装置，基于物理模型可以对待测器件的电学特性参数进行电学仿真，得到待测器件的电学电流电压特性，根据电学电流电压特性和实际电流电压特性，对待测器件的电学特性参数进行修正得到修正参数，基于热力学模型对修正参数进...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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