下载三维堆叠半导体设备的技术资料

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提供了用于半导体设备的系统、设备和方法。在一个方面中,一种半导体设备包括第一半导体结构。第一半导体结构包括沿第一方向延伸的多个第一沟道结构、以及多个连接结构。每个连接结构包括第一导电类型的第一区域、第二导电类型的第二区域和第一导电类型的第三...
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