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本发明公开了一种基板保持装置及湿法设备，包括旋转卡盘，旋转卡盘具有中间通道，旋转卡盘用于绕中间通道的轴线旋转；旋转卡盘的顶部设置有从内向外径向延伸的导流槽，导流槽具有第一侧壁、多个第二侧壁和底壁，第一侧壁围设在中间通道的外围，多个第二侧壁沿...
该专利属于盛美半导体设备（上海）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛美半导体设备（上海）股份有限公司授权不得商用。

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