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一种静电吸盘(ESC)，所述静电吸盘具有陶瓷主体，所述陶瓷主体包括嵌入电极并且具有第一直径。三个或更多个区域被限定在表面上并同心地布置在所述表面上，每个区域包括布置在所述表面上并限定所述区域的外边缘的保持环以及布置在所述表面上并在所述区域内...
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