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提供了一种制备用于带电粒子束检查的样品的方法。该方法包含提供半导体结构样品并识别待检验样品区域中的电隔离区域。该方法更包含提供对该至少一个电隔离区域的电连接。...
该专利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司SMT有限责任公司授权不得商用。

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