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本发明涉及一种控制靶材平面度和端面螺纹深度均匀性的加工方法,所述加工方法包括以下步骤:S1,对靶材的外圆进行全周夹持;S2,对靶材的端面依次进行车削和车螺纹,得到半成品靶材;S3,采用三圈法对半成品靶材的变形量和螺纹深度偏差进行检测;S4,...该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种控制靶材平面度和端面螺纹深度均匀性的加工方法,所述加工方法包括以下步骤:S1,对靶材的外圆进行全周夹持;S2,对靶材的端面依次进行车削和车螺纹,得到半成品靶材;S3,采用三圈法对半成品靶材的变形量和螺纹深度偏差进行检测;S4,...