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纳米电极柱诱导型叠层忆阻器制造技术
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文档序号:46596450
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本发明公开纳米电极柱诱导型叠层忆阻器,属于半导体技术领域;纳米电极柱诱导型叠层忆阻器包括从上至下依次堆叠的:顶电极层、电阻层HfOx、电阻层TaOx以及底电极层;顶电极层的下端中心位置设置有电极柱,电极柱材料与顶电极是同材料;电阻层HfOx...
该专利属于安徽大学所有,仅供学习研究参考,未经过安徽大学授权不得商用。
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