下载深紫外Micro-LED芯片及其制备方法的技术资料

文档序号:46591617

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本申请公开了深紫外Micro‑LED芯片及其制备方法,该深紫外Micro‑LED芯片包括基底,基底包括第一区域和环绕第一区域设置的第二区域;第一区域内和第二区域内包括依次层叠设置的蓝宝石衬底、离位溅射AlN成核层、AlN缓冲层模板、AlN子...
该专利属于武汉大学所有,仅供学习研究参考,未经过武汉大学授权不得商用。

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