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用于半导体封装件的中介层包括集成至中介层中的光子组件,诸如光波导和/或集成电路(IC)光子管芯。中介层包括:衬底;再分布结构,位于衬底上方,其中,再分布结构包括介电材料中的多个导电部件;以及光波导,位于衬底上方和/或内。光波导包括由包覆材料...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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用于半导体封装件的中介层包括集成至中介层中的光子组件,诸如光波导和/或集成电路(IC)光子管芯。中介层包括:衬底;再分布结构,位于衬底上方,其中,再分布结构包括介电材料中的多个导电部件;以及光波导,位于衬底上方和/或内。光波导包括由包覆材料...