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本申请公开一种尾气处理组件和半导体工艺设备，涉及半导体技术领域。该尾气处理组件包括依次设置的过滤装置、缓冲装置和废气处理装置，所述缓冲装置与所述废气处理装置相连通，所述过滤装置包括具有容纳腔的外壳以及设置在所述容纳腔内的吸附组件和释放组件，...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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