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本技术提供了一种除水装置和半导体设备，该除水装置包括壳体、冷却管道、冷却组件以及排气管道，壳体的内部具有能够与制程腔相连通的冷却腔，冷却组件位于冷却腔内；冷却组件包括冷却头以及安装于冷却头上的多个冷凝盘，多个冷凝盘沿冷却头的轴向上下间隔设置...
该专利属于杭州富芯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州富芯半导体有限公司授权不得商用。

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