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本申请涉及一种功率器件及其制备方法，器件包括：衬底，以及位于衬底的第一表面上依次层叠的第一外延层、第二外延层；第二外延层内包括经由第二外延层的顶面沿朝向衬底的第一方向延伸，且沿平行于第一表面的第二方向间隔排列的多个分裂栅，以及与分裂栅接触连...
该专利属于广东芯粤能半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东芯粤能半导体有限公司授权不得商用。

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