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本技术涉及一种光刻机循环水箱系统，涉及半导体制造技术领域。该光刻机循环水箱系统中第一水循环管路与供水装置串联，第二水循环管路与光刻机串联，第三水循环管路与第一水循环管路并联。当第一水循环管路出现异常状态时，第一阀门与第二阀门关断第一水循环管...
该专利属于杭州富芯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州富芯半导体有限公司授权不得商用。

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