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半导体结构的形成方法和半导体结构技术
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文档序号:46581902
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一种半导体结构的形成方法和半导体结构,方法包括:提供衬底,衬底包括高压栅氧区和高压源漏区,高压源漏区位于高压栅氧区的两侧,高压栅氧区与高压源漏区之间具有浅沟槽隔离结构;在衬底的预设区域表面形成隔离膜,隔离膜暴露出高压栅氧区;在高压栅氧区表面...
该专利属于广州增芯科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广州增芯科技有限公司授权不得商用。
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