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本发明公开了一种抛光垫沟槽在线修整方法及装置，包括以下步骤：S1，将抛光垫铺设在工作台，抛光垫沟槽的圆心与工作台旋转中心重叠或趋于重叠；S2，确定所有沟槽在工作台上的相对位置；S3，当刀具的刀尖落在任一圆形沟槽，工作台旋转中心、用于连接刀具...
该专利属于杭州众硅电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州众硅电子科技有限公司授权不得商用。

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