下载半导体负载仓气囊推进式密封门的技术资料

文档序号:46573910

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本技术公开了半导体负载仓气囊推进式密封门,包括:门框、门板、气嚢、回弹部件及气管;门板用于封堵门框的开口;气嚢设置在门板与门框之间,气嚢通过气管连通充放气设备,充放气设备用于气嚢的充气和放气;门板通过回弹部件连接门框;气嚢充气克服回弹部件的...
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