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本技术公开了一种晶圆转台的调节装置，包括底板，所述底板上转动安装有晶圆转台，所述晶圆转台上固定安装有与晶圆转台同步转动的旋转连接杆，所述底板上水平直线滑动安装有顶推旋转连接杆的顶推块，所述顶推块端部紧贴旋转连接杆侧面，所述顶推块通过直线推动...
该专利属于江苏晋誉达半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏晋誉达半导体股份有限公司授权不得商用。

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