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本技术公开了一种可调平升降机构及晶圆载台，包括：腔体连接支座、第一调整机构、第二调整机构和升降机构；所述升降机构设置在腔体连接支座上，所述升降机构包括能够沿竖直方向位移的升降部，所述第一调整机构设置在升降部上，所述第一调整机构能够绕第一水平...
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