温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种清洗设备，包括：腔体，腔体中设置有用于承载晶圆的晶圆承载装置；以及第一导流部件，设置于腔体顶部，且第一导流部件对应其下表面的多个不同区域分别设置有多个不同的进气结构，且通过不同的进气结构进入腔体的气体流速不同。本方案可以解决流...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。