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本文所公开的实施方式包括一种图案化基板的方法。在实施方式中，所述方法包括在基板之上沉积金属氧代层，并在所述金属氧代层之上涂覆化学放大抗蚀剂(CAR)。在实施方式中，所述方法进一步包括曝光所述CAR，并显影所述CAR以在所述CAR中形成图案。...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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