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本申请提供了一种调度方法、装置、半导体工艺设备及计算机可读存储介质，其中，所述调度方法通过获取可达图，并基于可达图和全局禁忌表，采用蚁群算法确定目标调度序列，以供机械手调度工艺对象，全局禁忌表用于记录每一轮迭代中各蚂蚁对应的死锁标识，死锁标...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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