温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供曝光装置和对准方法。在曝光装置中提供能高精度地检测对准标记等的位置从而高效地进行对准的对准机构。曝光装置(100)具备对准机构(50)，该对准机构具备：多个移动照相机(60)，其能沿着副扫描方向移动；和固定照相机(70)，其固定于...
该专利属于株式会社奥珂制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社奥珂制作所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。