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气化器和成膜装置制造方法及图纸
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文档序号:4646265
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在使液体原料的液滴通过通气性部件气化时,将整个通气性部件的温度均匀,防止未完全气化而引起堵塞。具有:导入液滴状的液体原料的导入口(354);板状的通气性部件(410),其与导入口对置地配置,由具有借助通电发热的电阻的部件构成;以夹持通气性部...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。
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