在使液体原料的液滴通过通气性部件气化时，将整个通气性部件的温度均匀，防止未完全气化而引起堵塞。具有：导入液滴状的液体原料的导入口（３５４）；板状的通气性部件（４１０），其与导入口对置地配置，由具有借助通电发热的电阻的部件构成；以夹持通气性部件的方式对置配置的一对电极（４２０、４３０）；经由一对电极使通气性部件通电发热的交流电源（３８０）；将原料气体送到外部被的送出口（１３２），该原料气体是使来自导入口的液滴状的液体原料通过发热的通气性部件的内部来气化而生成的。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及使液体原料气化而生成原料气体的气化器以及具有该 气化器的成膜装置。
技术介绍
通常，作为对用电介质、金属、半导体等构成的各种薄膜进行成膜 的方法，公知有将有机金属化合物等有机原料气体供给到成膜室、并使之与氧和氨等其他气体发生反应进行成膜的化学气相成长(CVD: Chemical Vapor Deposition)法。由于在这种CVD法所利用的有机原 料中，在常温下是液体或者固体的情况较多，所以需要使有机原料气化 的气化器。例如，上述有机原料通常利用溶媒稀释，或者通过使之溶解 而变成液体原料。作为这样使液体原料气化而生成原料气体的气化器，以往，具有如 下装置例如在气化室内设置具有多个孔的气化面，用加热器等加热该 气化面，例如从喷嘴将液体原料雾化成为液滴(雾)状并使之随着运载 气体的流动喷到气化面，由此使液滴与气化面接触而气化。在这样的气化器中，为了提高气化效率优选将液体原料变成直径尽 可能小的液滴喷到气化面。但是，液滴的直径变得越小就越存在不与气 化面接触而穿过其孔的危险。这样未完全气化的液滴，随着运载气体的 气流进入到成膜室内，成为产生颗粒的主要原因。例如在未完全气化的 液体原料的液滴浸入到成膜室时，若氧气残留在该成膜室内，则其液滴 会氧化成微细的颗粒，存在若其附着在基板上则会产生异常成膜和膜质 不良的问题。由此，以往，使由气化器生成的原料气体通过具有微小的孔的过滤 器供给到成膜室，从外部加热该过滤器使原料气体所含有的未完全气化 的液滴用过滤器气化。由此，即使气化器自身的气化效率稍变差，也能 够防止未完全气化的液滴直接浸入到成膜室内。另外，为了提高气化效率，存在这样的装置配置具有细孔的固体 填充物和多孔质体这样具有微小的孔的通气性部件，将该通气性部件以 从其外侧通过加热器等加热单元加热的状态，使液状原料的液滴通过而 气化(参照例如专利文献l、 2)。由此，由于液滴与通气性部件接触的 可能性也增加，所以能够提高气化效率。专利文献l: JP特开2005-347598号>^报专利文献2: JP特开平10-85581号公报
技术实现思路
但是，以往，使液体原料的液滴气化所使用的固体填充物、多孔质 体、过滤器等通气性部件从外部用加热器等加热单元加热，所以无法均 与地对通气性部件整体供给热量。由于通气性部件中存在例如离开加热 单元热量不能充分到达的部分等温度低的部分，所以存在液滴不会被气 化而引起堵塞的危险。例如，在专利文献l所记载的气化器中，由于固体填充物通过其外 侧的加热单元被加热，所以在固体填充物中与靠近加热单元的外周区域 相比中央区域的温度变低等，使固体填充物整体的温度变得均匀很困 难。在这样的情况下，中央区域的温度没有到达使液体原料气化的温度， 会产生气化不良引起固定填充物堵塞。对此，在专利文献2所记载的气化器中，为了利用多孔质体不引起 堵塞地有效地使液体原料气化，设置在多孔质体内的一部分流动的流 路，使热介质在该流路流通而从多孔质体的内部加热。但是，仅此并不 充分。即，由于使热介质流通的流路仅配置在多孔质体内的一部分，所 以无法均匀地供给热量给多孔质体整体。由此，存在局部产生气化不良， 多孔质体堵塞的危险。另外，考虑到如果要向整个多孔质体均匀地供给 热量，就在整个多孔质体到处形成流路即可，但如果这样做不仅构造复 杂，形成流路的部分能够接触原料气体的表面积反而会减少，多孔质体 中的压力损失会变大。在此，无法得到规定流量的原料气体。因此，本专利技术是鉴于这样的问题而做出的，其目的在于，能够提供 一种在使液体原料的液滴通过通气性部件气化时，将通气性部件整体的温度变得均匀并能够防止因未完全气化而引起堵塞的气化器以及成膜 装置。解决问题的手段为了解决上述问题，根据本专利技术的一种观点，提供一种气化器，其特征在于，具有液体原料喷出单元，其将液体原料变为液滴状喷出； 导入口，其导入上述液滴状的液体原料；板状的通气性部件，其与上述 导入口相对置地配置，并由具有借助通电发热的电阻的部件构成； 一对 电极，其以夹持上述通气性部件的方式对置配置；电源，其经由上述一 对电极使上述通气性部件通电发热；送出口，其将原料气体送到外部， 该原料气体是使来自上述导入口的上述液滴状的液体原料通过发热的 上述通气性部件的内部来气化而生成的。为了解决上述问题，根据本专利技术的其他观点，提供一种成膜装置， 其特征在于，具有成膜室，该成膜室从使液体原料气化而生成原料气体 的气化器导入原料气体对被处理基板进行成膜处理，该成膜装置的特征 在于，上述气化器具有液体原料喷出单元，其将液体原料变为液滴状 喷出；导入口，其导入上述液滴状的液体原料；板状的通气性部件，其 与上述导入口相对置地配置，并由具有借助通电发热的电阻的部件构 成； 一对电极，其以夹持上述通气性部件的方式对置配置；电源，其经 由上述一对电极使上述通气性部件通电发热；送出口，其将原料气体送 到上述成膜室，该原料气体是使来自上述导入口的上述液滴状的液体原 料通过发热的上述通气性部件的内部来气化而生成的。根据这样的本专利技术，由于将通气性部件由具有借助通电发热的电阻 的部件构成，所以经由一对电极对通气性部件直接通电，能够使通气性 部件整体上发热。由此，由于能够整体上使通气性部件的温度变得均匀， 所以仅液滴状的液体原料通过通气性部件，就能够使之全部气化而不布 满液滴。从而，能够在以往以上提高气化效率，并且能够防止局部的温 度降低导致的气化不良，因此能够防止通气性部件的堵塞。另外，也可以构成为上述一对电极分别在上述通气性部件的与上述 导入口对置的表側表面和其里侧表面以覆盖各面的方式接合地设置，在 上述一对电极上分别形成有多个贯通孔。由此，由于能将一对电极与通气性部件接触的面积变大，所以能够使之有效发热。因此，在对通气性 部件通电时能够整体上快速上升到所希望的温度。另外，上述通气性部件为矩形板状，上述一对电极分别在上述通气性部件的相互对置的侧面上以覆盖各面的方式接合地设置。由此，与在 与导入口对置的表侧表面和里侧表面设置电极的情况相比，液滴状的液 体原料的流动容易、即能够使电导提高。另外，上述通气性部件优选包括例如由多孔质材料构成的电阻发热 体。此时，多孔质材料优选包含碳化硅。另外，上述通气性部件也可以 包括由纤维材料构成的电阻发热体。为了解决上述问题，根据本专利技术的其他观点，提供一种气化器，与使液体原料气化而生成原料气体的其他气化器连接，其特征在于，包括 导入口，其将由上述其他气化器生成的原料气体导入；板状的通气性部件，其与上述导入口对置地配置，由具有借助通电发热的电阻的部件构 成； 一对电极，其以夹持上述通气性部件的方式对置配置；电源，其经 由上述一对电极使上述通气性部件通电发热；送出口，其使从上述导入 口导入的上述其他气化器的原料气体通过发热的上述通气性部件的内 部并送到外部。根据这样的本专利技术，将由其他气化器生成的原料气体，通过由具有 借助通电发热的电阻的部件构成的气化器中的通气性部件，由此使由其 他气化器未完全气化的液滴也用本专利技术的气化器气化。为了解决上述问题，根据本专利技术的其他观点，提供一种成膜装置， 其具有成膜室，在该成膜室，从使液体原料气化而生成原料气体的气化 器导入原料气体对本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种气化器，其特征在于，具有： 液体原料喷出单元，其将液体原料变为液滴状喷出； 导入口，其导入上述液滴状的液体原料； 板状的通气性部件，其与上述导入口相对置地配置，并由具有借助通电发热的电阻的部件构成； 一对电极，其 以夹持上述通气性部件的方式对置配置； 电源，其经由上述一对电极使上述通气性部件通电发热； 送出口，其将原料气体送到外部，该原料气体是使来自上述导入口的上述液滴状的液体原料通过发热的上述通气性部件的内部来气化而生成的。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：田中澄，二村宗久，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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