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本申请提供了一种配方文件的生成方法、执行方法、上位机、机台及设备，该生成方法包括：基于第一目标工艺配方与第一通用工艺步骤之间的对应关系，在工艺步骤数据库中查找与第一目标工艺配方相匹配的第一通用工艺步骤；工艺步骤数据库包括通用工艺步骤与工艺参...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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