【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体工艺，尤其涉及一种配方文件的生成方法、执行方法、上位机、机台及设备。
技术介绍
1、在半导体工艺流程中，机台可以根据工艺配方(recipe)的配方文件执行工艺任务，以对晶圆进行加工；其中，工艺配方包括多个工艺步骤以及各个工艺步骤的执行信息，各个工艺步骤又包括多个工艺参数。由于晶圆加工的复杂性和工艺的多样性，造成不同工艺阶段的工艺配方所使用的工艺参数存在差异，因此工艺配方相当复杂且多变。
2、目前，配方文件的生成方法主要为：根据工艺需求创建多个工艺步骤，各个工艺步骤中的多个工艺参数由参数模板预设；分别对各个工艺步骤中的多个工艺参数设置参数值，生成工艺配方的配方文件。由于各个工艺步骤中的多个工艺参数受限于固定的参数模板预设，使得在生成每个配方文件的过程中均需要对各个工艺步骤中的工艺参数设置参数值，导致配方文件的生成效率较低。
技术实现思路
1、本申请提供一种配方文件的生成方法、执行方法、上位机、机台及设备，以解决相关技术存在的配方文件的生成效率较低的问题。
<...【技术保护点】
1.一种配方文件的生成方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的生成方法，其特征在于，所述工艺参数的参数属性存储于工艺参数数据库中，所述参数属性包括参数值范围，所述生成方法还包括：
3.根据权利要求2所述的生成方法，其特征在于，所述生成方法还包括：
4.根据权利要求1所述的生成方法，其特征在于，还包括：
5.根据权利要求4所述的生成方法，其特征在于，还包括：
6.根据权利要求4所述的生成方法，其特征在于，所述方法还包括：
7.根据权利要求1所述的生成方法，其特征在于，在基于第一目标工艺配方...
【技术特征摘要】
1.一种配方文件的生成方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的生成方法，其特征在于，所述工艺参数的参数属性存储于工艺参数数据库中，所述参数属性包括参数值范围，所述生成方法还包括：
3.根据权利要求2所述的生成方法，其特征在于，所述生成方法还包括：
4.根据权利要求1所述的生成方法，其特征在于，还包括：
5.根据权利要求4所述的生成方法，其特征在于，还包括：
6.根据权利要求4所述的生成方法，其特征在于，所述方法还包括：
7.根据权利要求1所述的生成方法，其特征在于，在基于第一目标工艺配方与第一通用工艺步骤之间的对应关系，在工艺步骤数据库中查找与所述第一目标工艺配方相匹配的第一通用工艺步骤之前，还包括：
8.根据权利要求1所述的生成方法，其特征在于，在基于第一目标工艺配方与第一通用工艺步骤之间的...
【专利技术属性】
技术研发人员：余港辉，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。