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本申请公开了一种气体分配装置及半导体工艺设备，涉及半导体领域。一种气体分配装置，包括：分配本体，分配本体设有：进气通道、抽气通道，以及多个输气通道；进气通道通过沿第一方向排布的多个进气孔分别与多个输气通道连通；抽气通道通过多个抽气孔分别与多...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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